Präzision für die Technologien von morgen
In der Halbleiterfertigung sind Präzision, Prozesssicherheit und absolute Kontaminationsfreiheit entscheidend.
Anwendungen wie Wafer-Handling, Lithografie oder Inspektionssysteme stellen extreme Anforderungen an Antriebskomponenten – von extremen Positioniergenauigkeiten über uneingeschränkte Vakuumtauglichkeit bis hin zu minimaler Partikelemission, je nach Anwendungsfall auch unter vollständigem Verzicht auf bestimmte Materialelemente. Kugelgewindetriebe von Steinmeyer erfüllen diese Anforderungen kompromisslos. Sie arbeiten zuverlässig in Reinraumumgebungen, lassen sich für dynamische Bewegungsprofile optimieren und bieten auch in miniaturisierten Systemen maximale Stabilität und Lebensdauer.
Hochspezialisierte Kugelgewindetriebe anfragen
Für jedes System der Halbleiterindustrie die richtige Lösung
Wafer-Fertigung und -Handling
Bei Prozessen wie Elektronenstrahl- oder EUV-Lithografie sind höchste Präzision, Stabilität und Materialreinheit gefragt. Kugelgewindetriebe von Steinmeyer übernehmen dabei essenzielle Bewegungen, z. B. in Achsen zur Fokusverstellung oder beim Handling von Wafern im Reinraum. Neben höchster Positioniergenauigkeit macht sie vorallem die hinsichtlich geringster Partikelemission und Freiheit von Dotierungselementen optimierte, anwendungsspezifische Werkstoffauswahl zur idealen Lösung für kritische Fertigungsprozesse.
Inspektions- und Messsysteme
Bei der strukturellen Wafer-Inspektion oder hochauflösenden Vermessung zählt jede Bewegung. Kugelgewindetriebe übernehmen hier präzise Vorschub- oder Z-Verstellungen in Positioniersystemen für Probentische und Optiken. Sie ermöglichen extrem genaue Bewegungen vibrationsarm, reinraumtauglich und auf lange Lebensdauer ausgelegt.
Bestückungs- und Montageanlagen
In Packaging-Prozessen wie Die-Attach, Wire-Bonding oder Flip-Chip-Placement sind schnelle und hochpräzise Bewegungen gefragt. Kugelgewindetriebe übernehmen hier feinfühlige Justier- und Vorschubbewegungen – z. B. in Pick-and-Place-Achsen oder Bondköpfen. Sie ermöglichen kurze Taktzeiten bei maximaler Wiederholgenauigkeit – auch im Dauerbetrieb.
Vorteile der Steinmeyer Kugelgewindetriebe
In der Halbleitertechnik gelten andere Maßstäbe – und zwar für jedes Detail. Selbst kleinste Verunreinigungen oder Abweichungen können Prozesse stören, Ergebnisse verfälschen oder Ausschuss verursachen. Deshalb kommt es nicht nur auf höchste Präzision, sondern auch auf kompromisslose Materialqualität und durchdachte Konstruktionsdetails an.
Steinmeyer Kugelgewindetriebe sind exakt auf diese Anforderungen ausgelegt. Sie bewegen zuverlässig mit hoher Wiederholgenauigkeit, auch im Hochvakuum, im Reinraum oder bei extrem kleinen Hüben. Durch eine gezielte Auswahl passender Werkstoffe, spezielle Mutternbauformen und individuell angepasste Schmierlösungen lassen sich selbst komplexe Bedingungen sicher beherrschen. So werden Steinmeyer Kugelgewindetriebe zu einer zentralen Komponente in hochsensiblen Prozessen von der Waferfertigung bis zur optischen Inspektion.
Ihre Vorteile im Überblick:
- Reproduzierbare Präzision durch hochgenau gefertigte Gewinde und anwendungsangepasste Vorspannung
- Minimale Partikelemission dank abgestimmter Werkstoffauswahl, auf Wunsch frei von definierten Dotierungselementen
- Ausgasungsarm und kontaminationsfrei durch spezielle Schmierstoffe und hochwertige Kunststoffkomponenten – in Sonderfällen auch komplett schmier- und kunststofffrei realisierbar
- Platzsparend und effizient durch kompakte Mutterngeometrien für hochintegrierte Systeme mit geringstem Einbauraum
- Ideal für Vakuum- und Reinraumanwendungen durch angepasste Materialien und applikationsspezifische Schmierkonzepte
FAQ - Kugelgewindetriebe Halbleitertechnologie
Sind Steinmeyer Kugelgewindetriebe für Reinraumanwendungen geeignet?
Durch angepasste Auslegung mit speziellen Materialien und optimiertem Schmierstoff können Steinmeyer Kugelgewindetriebe problemlos für Anwendungen in verschiedenen Reinraumklassen konzipiert werden.
Wie verhalten sich die Kugelgewindetriebe bezüglich Ausgasung und Partikelbildung?
Steinmeyer setzt bei Reinraumanwendungen auf ausgasungsarme Schmierstoffe und hochwertige Komponenten mit geringer Partikelbildung. Auf Wunsch sind für spezielle Anwendungen auch Lösungen ganz ohne Schmierstoffe und Kunststoffe möglich.
Können die Kugelgewindetriebe unter Strahlung betrieben werden?
Durch geeignete Werkstoff- und Schmiermittelauswahl lassen sich Kugelgewindetriebe für den Einsatz unter verschiedenen Strahlungsvarianten, wie z.B. UV-Strahlung, anpassen.
Bietet Steinmeyer auch komplette Systeme oder kundenspezifische Baugruppen an?
Steinmeyer Mechatronik entwickelt und fertigt modulare Positioniersysteme und einbaufertige Baugruppen inlusive Antrieb, Sensorik und Steurung, abgestimmt auf Ihre Anwendungen. Es entstehen individuelle Komplettlösungen für Positionier- und Handhabungsaufgaben, die exakt auf Ihre Anforderungen zugeschnitten und fertig für den Einsatz sind.