Präzision für die Technologien von morgen

  • In der Halbleiterfertigung sind Präzision, Prozesssicherheit und absolute Kontaminationsfreiheit entscheidend.  

    Anwendungen wie Wafer-Handling, Lithografie oder Inspektionssysteme stellen extreme Anforderungen an Antriebskomponenten – von extremen Positioniergenauigkeiten über uneingeschränkte  Vakuumtauglichkeit bis hin zu minimaler Partikelemission, je nach Anwendungsfall auch unter vollständigem Verzicht auf bestimmte Materialelemente. Kugelgewindetriebe von Steinmeyer erfüllen diese Anforderungen kompromisslos. Sie arbeiten zuverlässig in Reinraumumgebungen, lassen sich für dynamische Bewegungsprofile optimieren und bieten auch in miniaturisierten Systemen maximale Stabilität und Lebensdauer. 

  • Hochspezialisierte Kugelgewindetriebe anfragen

Für jedes System der Halbleiterindustrie die richtige Lösung

  • Wafer-Fertigung und -Handling

    Bei Prozessen wie Elektronenstrahl- oder EUV-Lithografie sind höchste Präzision, Stabilität und Materialreinheit gefragt. Kugelgewindetriebe von Steinmeyer übernehmen dabei essenzielle Bewegungen, z. B. in Achsen zur Fokusverstellung oder beim Handling von Wafern im Reinraum. Neben höchster Positioniergenauigkeit macht sie vorallem die hinsichtlich geringster Partikelemission und Freiheit von Dotierungselementen optimierte,  anwendungsspezifische Werkstoffauswahl zur idealen Lösung für kritische Fertigungsprozesse. 

  • Inspektions- und Messsysteme

    Bei der strukturellen Wafer-Inspektion oder hochauflösenden Vermessung zählt jede Bewegung. Kugelgewindetriebe übernehmen hier präzise Vorschub- oder Z-Verstellungen in Positioniersystemen für Probentische und Optiken. Sie ermöglichen extrem genaue Bewegungen vibrationsarm, reinraumtauglich und auf lange Lebensdauer ausgelegt. 

  • Bestückungs- und Montageanlagen

    In Packaging-Prozessen wie Die-Attach, Wire-Bonding oder Flip-Chip-Placement sind schnelle und hochpräzise Bewegungen gefragt. Kugelgewindetriebe übernehmen hier feinfühlige Justier- und Vorschubbewegungen – z. B. in Pick-and-Place-Achsen oder Bondköpfen. Sie ermöglichen kurze Taktzeiten bei maximaler Wiederholgenauigkeit – auch im Dauerbetrieb. 

Vorteile der Steinmeyer Kugelgewindetriebe

In der Halbleitertechnik gelten andere Maßstäbe – und zwar für jedes Detail. Selbst kleinste Verunreinigungen oder Abweichungen können Prozesse stören, Ergebnisse verfälschen oder Ausschuss verursachen. Deshalb kommt es nicht nur auf höchste Präzision, sondern auch auf kompromisslose Materialqualität und durchdachte Konstruktionsdetails an. 

Steinmeyer Kugelgewindetriebe sind exakt auf diese Anforderungen ausgelegt. Sie bewegen zuverlässig mit hoher Wiederholgenauigkeit, auch im Hochvakuum, im Reinraum oder bei extrem kleinen Hüben. Durch eine gezielte Auswahl passender Werkstoffe, spezielle Mutternbauformen und individuell angepasste Schmierlösungen lassen sich selbst komplexe Bedingungen sicher beherrschen. So werden Steinmeyer Kugelgewindetriebe zu einer zentralen Komponente in hochsensiblen Prozessen von der Waferfertigung bis zur optischen Inspektion. 

Ihre Vorteile im Überblick: 

  • Reproduzierbare Präzision durch hochgenau gefertigte Gewinde und anwendungsangepasste Vorspannung 
  • Minimale Partikelemission dank abgestimmter Werkstoffauswahl, auf Wunsch frei von definierten Dotierungselementen 
  • Ausgasungsarm und kontaminationsfrei durch spezielle Schmierstoffe und hochwertige Kunststoffkomponenten – in Sonderfällen auch komplett schmier- und kunststofffrei realisierbar 
  • Platzsparend und effizient durch kompakte Mutterngeometrien für hochintegrierte Systeme mit geringstem Einbauraum 
  • Ideal für Vakuum- und Reinraumanwendungen durch angepasste Materialien und applikationsspezifische Schmierkonzepte 

 

 

Anwendungsbeispiel: Hochpräzise Wafer-Inspektion bewegt von Steinmeyer Kugelgewindetrieben

In der Halbleiterfertigung entscheiden Details im µm- oder sub-µm-Bereich über Erfolg oder Fehler. Ein maßgeschneidertes, modulares XYZ-Positioniersystem von Steinmeyer Mechatronik bildet die präzise Basis, um Wafer bis zu 300 mm Durchmesser für die Inspektion zuverlässig auszurichten. Dank flexibler Halterungen für wechselbare Prozessköpfe wie Mikroskope oder Sensoren passt sich das System vielfältigen Anforderungen mühelos an. Es ist standardmäßig für Reinräume bis Klasse ISO 6 sowie für den Einsatz unter UV-Strahlung ausgelegt. Anpassungen an höhere Reinraumklassen oder andere Strahlungsarten (DUV, EUV, Röntgen, Gamma) können auf Anfrage konzipiert werden. Zahlreiche weitere Features, etwa Vibrationsentkopplung, integrierte Sicherheitskonzepte sowie Wartungsarmut im 24/7-Betrieb, machen das System besonders robust und zuverlässig. 

  • Ein Herzstück der Bewegungs- und Positionierachsen dieses Systems sind Steinmeyer Kugelgewindetriebe. Optimal auf die Systemanforderungen abgestimmt, sorgen sie für präzise und wiederholbare Achsebewegungen. Selbst unter anspruchsvollen Reinraum- und Dauerbetriebsbedingungen garantieren sie konstante Ergebnisse. 

    Die Kombination aus innovativer Mechanik und speziell ausgewählten, reinraumtauglichen Materialien schafft eine verlässliche Grundlage für komplexe Inspektionsaufgaben und ermöglicht flexible Anpassungen an unterschiedlichste Prozessanforderungen. 

  • Modulares XYZ Positioniersystem für die Waferinspektion

    • Ideal für flexible Inspektionsprozesse von Wafern bis 12 inch / 300 mm
    • Halterung für wechselbare Prozessköpfe (Mikroskop, Sensor, ...)
    • Verschiedene Scanbereiche und manuelle Höhenverstellung (wahlweise motorisiert mit Motion Controller)
    • Wartungsarm bei 24/7-Produktion bis Reinraumklasse ISO 6 (höher auf Anfrage)

    Optionen:

    • Erweiterbare Verfahrwege XY 200 - 350 mm, Z 200 - 400 mm
    • Anpassung an den Prozess: Apertur, Probenhalterung, Erweiterung zusätzlicher (motorisierter) Z-Achsen
    • Angepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer Dämpfern
    • Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS)
    • Individueller Aufbau mit Gestell, Umhausung oder Einbindung in die Fab
    • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

FAQ - Kugelgewindetriebe Halbleitertechnologie

Sind Steinmeyer Kugelgewindetriebe für Reinraumanwendungen geeignet?

Durch angepasste Auslegung mit speziellen Materialien und optimiertem Schmierstoff können Steinmeyer Kugelgewindetriebe problemlos für Anwendungen in verschiedenen Reinraumklassen konzipiert werden. 

Wie verhalten sich die Kugelgewindetriebe bezüglich Ausgasung und Partikelbildung?

Steinmeyer setzt bei Reinraumanwendungen auf ausgasungsarme Schmierstoffe und hochwertige Komponenten mit geringer Partikelbildung. Auf Wunsch sind für spezielle Anwendungen auch Lösungen ganz ohne Schmierstoffe und Kunststoffe möglich. 

Können die Kugelgewindetriebe unter Strahlung betrieben werden?

Durch geeignete Werkstoff- und Schmiermittelauswahl lassen sich Kugelgewindetriebe für den Einsatz unter verschiedenen Strahlungsvarianten, wie z.B. UV-Strahlung, anpassen. 

Bietet Steinmeyer auch komplette Systeme oder kundenspezifische Baugruppen an?

Steinmeyer Mechatronik entwickelt und fertigt modulare Positioniersysteme und einbaufertige Baugruppen inlusive Antrieb, Sensorik und Steurung, abgestimmt auf Ihre Anwendungen. Es entstehen individuelle Komplettlösungen für Positionier- und Handhabungsaufgaben, die exakt auf Ihre Anforderungen zugeschnitten und fertig für den Einsatz sind.